一、產(chǎn)品簡介
    本系列CVD沉碳化硅爐(以下簡稱CVD爐)分為氣路系統(tǒng)，爐體加熱系統(tǒng)，真空處理系統(tǒng)三部分。
     進氣路系統(tǒng)：由流量柜、質(zhì)量流量計、質(zhì)量顯示儀，閥門，混氣罐，壓力表等組成。所需氣體由氣瓶流出過減壓閥進行減壓，通過質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量計根據(jù)工藝要求進行調(diào)節(jié)流速，以達到實驗使用目的，實驗使用氣體通過流量計后進入不銹鋼混氣裝置。氣體進入混氣裝置后經(jīng)混氣篩進行充分混合，混氣裝置上帶有壓力指針顯示器，用于觀察混氣裝置內(nèi)部的壓力。充分混合后的氣體從爐體底部進氣口進入剛玉管內(nèi)參與反應(yīng)。
    爐體加熱系統(tǒng):由爐體，運行絲杠，電控柜等組成。電阻爐爐體外型為圓柱形，爐殼用不銹鋼板氬弧焊接而成，爐體固定在裝有升降系統(tǒng)的支架上，爐殼內(nèi)部為爐膛為分內(nèi)外兩層內(nèi)層為耐火層，由1600的高晶纖維真空澆筑而成，在高溫下變形小，耐溫高。外層為保溫層，采用1300度的高鋁纖維材料，保溫效果好，熱損失小。內(nèi)徑為80mm外徑為90mm長度為1200mm的氧化鋁剛玉管從爐膛中部穿過，剛玉管四周均勻的分布著碳化硅加熱體。對內(nèi)部進行環(huán)形加熱，提高了熱場的有效面積。剛玉管上下兩端采用循環(huán)水不銹鋼法蘭及硅橡膠O型圈進行密封，提高了密封圈的使用壽命。上法蘭留有真空系統(tǒng)連接管道口，使用前可預(yù)抽真空，通過真空壓力表顯示內(nèi)部真空度。進料口在爐體下部，減速電機帶動渦輪運行，實現(xiàn)滾珠絲杠的運行，為了保證絲杠的運行方向，絲杠兩端固定導(dǎo)向杠，爐門固定在支架上由絲杠上的滾塊帶動機械升降可平穩(wěn)的實現(xiàn)爐口的開啟，升降系統(tǒng)裝有自動限位開關(guān)，確保使用安全使用。
電爐配電系統(tǒng)安裝在爐體一側(cè)，儀表采用日本島電FP93控溫儀，讀數(shù)直觀，操作方便。
    本系列CVD爐還帶有超溫報警功能，當溫度超過設(shè)定報警值時，蜂鳴器開始報警，并切斷加熱電源，以杜絕事故的發(fā)生，安全有效。
   真空系統(tǒng)：由真空泵，玻璃瓶，等。上法蘭上真空管道連接口通過KF快接法蘭進行連接，方便快捷。在高溫下真空泵將參與反應(yīng)的廢氣抽出，廢氣經(jīng)冷卻系統(tǒng)進行冷卻，在經(jīng)油溶液進行進行沉淀除水。最后由真空泵排出。既提高了真空泵的使用壽命又減少了對環(huán)境的污染。

二、產(chǎn)品名稱，型號、技術(shù)參數(shù)

    產(chǎn)品名稱：CVD沉碳化硅爐
    型    號：   SKLZ13-ф80×400-JBL
    技術(shù)參數(shù)：
        電源電壓：   380 V                   電源頻率：    50HZ
        相    數(shù)：   兩相                    額定功率：    7KW
        使用溫度：   1200℃                  最高溫度：    1300℃
         爐膛尺寸：   Ф200×400                爐管尺寸：    Ф80（內(nèi)徑）×1300

使用單位：大連理工大學(xué)高郵研究院